SP Genevac Rocket Synergy 2: 半導體溶劑檢測必備的高效離心濃縮機 (Part 1 - IQC in Semiconductor Industry)

台灣擁有全球最完整的半導體產業聚落及專業分工，晶圓代工及IC封測產業更是位居全球第一位。

半導體IC製造

製造晶片的 IC 製造廠，在把電路轉印到晶圓的過程中（微影成像/黃光製程）¹，會需要用到各式各樣的化學溶劑（電子級溶劑）作為清洗劑、光阻劑、顯影劑及去光阻劑等。這些高純度的電子級溶劑如：異丙醇 (Isopropyl alcohol, IPA)、丙二醇單甲基醚 (1-Methoxy-2-propanol, PGME)、乙酸丙二醇單甲基醚酯 (1-Methoxy-2propyl acetate, PGMEA)……在半導體製程中扮演著非常重要的角色。

 參考文獻J. Chang. Study of High Boiling Point Air Pollutants from Process Exhaust of High-tech Industries, 16:108, 2010.²

光阻劑(Photoresist)的品質控制

光阻劑是晶圓製造中的微影成像 (Photolithography) 步驟的關鍵化學品，若光阻劑中產生異質的聚合物（不純物）將產生了不良影響。因此光阻劑的品質及純度是影響製程良率的關鍵因素之一，晶圓製造商對於製程中所使用的溶劑包括光阻劑在內的化學品進料檢驗 (Incoming Quality Control, IQC) 及供應鏈管理 (Supplier Quality Engineer, SQE) 都嚴格控管，才能避免晶圓在製程被污染，確保高良率。3

IC製程化學品進料檢驗 (IQC)

為了避免製程中晶圓被污染的風險，使用不同的層析和光譜分析技術進行品質控制測試，分析進料製程化學品中的顆粒、雜質和特定污染物，包括有機物、微量金屬、酸和鹼。為了最大限度地減少由製程化學品不良或缺陷造成的生產損失，必須排除化學成分超過 10 ng/ L ( 0.01 ppb) 或更低的超微量不純物質。⁴

層析或光譜分析前處理程序 — 專注於濃縮

為了符合分析方法的需求限制或降低溶劑（樣品）中可能存在的干擾物對待測物分析的影響，溶劑分析前可進行適當的前處理程序。妥適的前處理程序可去除樣品中的基質干擾，並濃縮樣品至儀器可偵測範圍，提高超微量之待測物濃度、避免處理程序中引入其他的污染，可大幅提升分析結果的準確度。

Rocket Synergy 2 輕鬆完成溶劑之高倍率濃縮

來自英國 SP Genevac Rocket Synergy 2 多樣品大體積離心濃縮系統專為大體積濃縮成小體積的需求而設計， 搭配特殊專利濃縮瓶 SampleGenie^TM可自動平行濃縮高達 6 個 400 mL 溶劑樣品至GC vial 中，一步即可將超過2 L的樣品完成近 400 倍的濃縮率，從而輕鬆地獲得高濃度的樣品。無需再轉換容器，濃縮完畢即可上機分析，可大幅減少人為誤差並提升檢測效率。⁵

結論

我們的離心濃縮系統已被廣泛應用於半導體產業的溶劑檢測中，並得到了業界專家的認可。Rocket Synergy 2獨家規格的高倍率濃縮是為IQC解決上述偵測微量不純物問題的超強工具，目前已在半導體界有諸多銷售實績，是兼具品質與口碑的最佳選擇。

Rocket Synergy 2擁有多種應用於半導體溶劑檢測的優勢：

• 高效的濃縮速度：該機型可以在短時間內高倍率地濃縮溶劑，節省檢測過程中的時間和成本。

• 高濃度樣品的完整性：使用的獨特技術可確保樣品在濃縮過程中的完整性和穩定性，避免樣品在濃縮過程中的損失和變質。

• 適用溶劑廣泛：可用於各種不同沸點的半導體溶劑檢測需求，並且可處理多種酸、鹼有機溶劑。

總而言之，SP Genevac Rocket Synergy 2是一款高效、可靠且多功能的離心濃縮機，可應用於半導體溶劑檢測之高倍率濃縮需求，透過提高檢測的準確性和可靠性，提供一個有效的解決方案，並為實驗室帶來效率和價值的提升。

1. https://www.stockfeel.com.tw/%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E9%AB%94-%E7%94%A2%E6%A5%AD%E9%8F%88-ic-%E8%A8%AD%E8%A8%88-%E8%A3%BD%E9%80%A0-%E5%B0%81%E6%B8%AC/
2. J. Chang. Study of High Boiling Point Air Pollutants from Process Exhaust of High-tech Industries, 16:108, 2010.
3. https://www.bnext.com.tw/article/52306/tsmc-photoresist-managerment
4. https://www.thermofisher.com/tw/zt/home/industrial/manufacturing-processing/manufacturing-processing-learning-center/electronics-information/semiconductor-analysis-imaging-metrology-information/chemical-analysis-semiconductor-fabs-process-wafer-environment.html
5. https://www.scientificproducts.com/products/sp-genevac-rocket-synergy-2-benchtop-evaporator