| LT-Pro SA(標準型) | LT-Pro HA(高精度型) | |
| 精準度 | 5um | 1um |
| 真空衰檢測試 | Yes | Yes |
| 壓力衰檢測試 | Yes | Yes |
| 外接真空幫浦 | 選配 | 選配 |
| 內建真空幫浦 | Yes | Yes |
| 生產執行系統(M.E.S) | 選配 | 選配 |
| 參數選單編輯(AD) | Yes | Yes |
| 電子簽章 | Yes | Yes |
| 批次管理 | Yes | Yes |
| 觸控螢幕 | Yes | Yes |
| 報表 | Yes | Yes |
| 備份 | Yes | Yes |
| 清潔循環 | Yes | Yes |
| 洩漏測試校正模式 | Yes | Yes |
| CFR 21 Part 11電子簽章 | Yes | Yes |
| 傳感器型式 | 單個 | 双個 |
