共軛拉曼顯微鏡與光致發光 (PL) 顯微鏡是高解析度、非侵入性的分析工具，可精確測量複合半導體的 化學成分、應力分佈、晶體結構與熱效應，適用於品質控制與材料研究。

應用領域包括：

✅ AlGaN/GaN 晶圓品質評估：量測應力變化、鋁含量與均勻性，並利用 LiveTrack™ 追蹤晶圓彎曲度。

✅ GaN 微結構 3D 影像與應力分析：透過拉曼光譜檢測穿透位錯密度，揭示結構應力分佈，並與 SEM 影像對比驗證。

✅ HEMT 裝置的熱成像：透過拉曼光譜測量裝置運行溫度，解析 SiC 與藍寶石基板的散熱特性，提高功率密度與散熱效率。

👍研究顯示，拉曼顯微鏡可精準分析複合半導體的結構、應力與熱管理，為提升材料品質與裝置效能提供有力工具。

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